國內半導體自動化物料搬運系統領域迎來里程碑式突破——彌費科技自主研發的8英寸與12英寸晶圓廠自動物料搬運系統成功通過客戶驗收并正式投入使用。這一成就不僅標志著國產AMHS系統在先進制程晶圓廠實現了從“可用”到“好用”的關鍵跨越,更一舉打破了該領域長期被海外巨頭壟斷的局面,為中國半導體產業鏈的自主可控與安全穩定注入了強勁動力。
AMHS系統被譽為晶圓廠的“動脈血管”,是連接光刻、刻蝕、薄膜沉積等數百道工藝環節的智能物流神經網絡,其穩定性、精度與效率直接關系到整個芯片制造流程的產能、良率與成本。長期以來,該核心技術及市場幾乎被少數幾家國際企業所主導,成為我國半導體產業邁向高端化的“卡脖子”環節之一。彌費科技此次驗收成功,意味著國產AMHS系統已具備服務全球主流晶圓尺寸產線的能力,能夠滿足先進制造對潔凈環境、高精度調度、7x24小時不間斷運行以及大數據智能優化的嚴苛要求。
尤為值得關注的是,彌費科技在攻克系統集成與控制軟件等核心難題的創新性地將新材料技術推廣服務深度融合于AMHS的研發與解決方案中。公司在關鍵零部件如承載晶圓的FOUP、傳輸軌道、空中走行機構等方面,應用了自主研發的高強度、低磨損、抗靜電且超高潔凈度的復合材料與特種涂層。這些新材料不僅大幅提升了設備的耐用性與可靠性,降低了顆粒污染風險,還有效優化了系統的能耗與維護成本,為AMHS的長期高效運行提供了堅實的物質基礎。這一“材料+系統”雙輪驅動的技術路徑,形成了彌費科技獨特的技術壁壘與競爭優勢。
此次成功驗收,是彌費科技深耕半導體自動化領域多年技術積累的集中體現。從核心算法、機械設計到新材料應用,公司構建了完整的自主知識產權體系。系統的成功投用,預計將為客戶晶圓廠帶來顯著的效益提升:物料傳輸效率提高,在制品庫存降低,生產周期縮短,并為人機協同與全廠智能制造升級奠定了堅實基礎。
隨著全球半導體產業鏈格局深度調整以及國內新建晶圓產能的持續釋放,對高性能、低成本、服務響應當地化的AMHS需求將愈發迫切。彌費科技的突破,恰逢其時,為國內芯片制造企業提供了可信賴的國產化選擇。它不僅是一個產品的勝利,更代表了一種模式的成功——通過底層技術創新與跨學科融合,在高端裝備領域實現從追隨到并跑乃至引領的跨越。
彌費科技8/12英寸AMHS系統的驗收成功,是中國半導體裝備自主化征程上的一個響亮號角。它昭示著,在產業各界的共同努力下,通過持續的技術攻堅與生態構建,中國有能力也有信心在更多關鍵環節實現突破,筑牢半導體產業發展的基石,最終推動全球半導體產業格局向著更加多元、均衡、健康的方向演進。